內(nèi)容介紹
一、產(chǎn)品介紹
三氟化氮在常溫下是一種無(wú)色、無(wú)臭、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，不可燃，但能助燃，是一種強(qiáng)氧化劑。
當(dāng)溫度超過(guò)350℃時(shí)，三氟化氮?dú)怏w會(huì)緩慢分解，分解時(shí)產(chǎn)生強(qiáng)氧化性氟，因此在高溫下它是一種強(qiáng)氧化劑。
三氟化氮可以用作氟化氫－氟化氣高能化學(xué)激光器的氟源，是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體。
中文名：三氟化氮 |
分子式：NF3 |
英文名：nitrogen trifluoride |
相對(duì)分子量：71.01 |
CAS No：7783-54-2 |
危險(xiǎn)性類別：第2.3類 |
UN No：2451 |
溶解性：不溶于水 |
熔點(diǎn)(101.325kPa)：-206.79℃ |
沸點(diǎn)(101.325kPa)：-129.0℃ |
臨界溫度：-39.3℃ |
液體密度(-129℃，101.325kPa)：1540kg/m3 |
臨界壓力：4.53MPa |
氣體密度(20℃，101.325kPa)：2.96kg/m3 |
二、技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)
檢驗(yàn)項(xiàng)目 |
指 標(biāo) |
|
三氟化氮（v/v）% ≥ |
99.995 |
99.99 |
四氟化碳ppmv ≤ |
20 |
40 |
氮ppmv ≤ |
5 |
5 |
氧 氬ppmv ≤ |
3 |
3 |
一氧化碳ppmv ≤ |
0.5 |
1 |
二氧化碳ppmv ≤ |
1 |
5 |
氧化氬氮ppmv ≤ |
1 |
5 |
六氟化硫ppmv ≤ |
1 |
5 |
總酸度（以HF計(jì)）ppmv ≤ |
1 |
1 |
水ppmv ≤ |
1 |
1 |
三、 包裝規(guī)格(鋼瓶、Y瓶、長(zhǎng)管拖車)
容積（升） |
40 |
47 |
470 |
長(zhǎng)管拖車 |
氣體重量（公斤） |
15 |
20 |
200 |
/ |
充裝壓力（MPa） |
9--13 |
9--13 |
9--13 |
/ |
閥門型號(hào) |
CGA330 |
CGA640 |
CGA640 |
/ |
*可根據(jù)客戶要求提供其它規(guī)格的包裝。
四、三氟化氮的應(yīng)用
三氟化氮可以用作氟化氫－氟化氣高能化學(xué)激光器的氟源，是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，
尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物
表面不留任何殘留物，同時(shí)也是非常良好的清洗劑。
五、注意事項(xiàng)
儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)50℃。應(yīng)與易（可）燃物、還原劑、食用化學(xué)
品分開存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。操作人員必須經(jīng)過(guò)專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。密
閉空間操作時(shí)應(yīng)提供充分的局部排風(fēng)和***通風(fēng)。建議操作人員佩戴自吸過(guò)濾式防毒面具（半面罩），戴化學(xué)
安全防護(hù)眼鏡，穿防毒物滲透工作服，戴橡膠手套。遠(yuǎn)離火種、熱源，工作場(chǎng)所嚴(yán)禁吸煙。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。
防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與還原劑接觸。搬運(yùn)時(shí)戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈，防止鋼瓶碰撞、
損壞。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。鋼瓶瓶頸上有鋼瓶檢驗(yàn)時(shí)間，不符合要求的鋼瓶
應(yīng)委托菲利爾特種氣體等供應(yīng)商到有資質(zhì)的壓力容器檢驗(yàn)單位進(jìn)行檢驗(yàn)。嚴(yán)禁使用過(guò)期鋼瓶。
六、急救措施
皮膚接觸：脫去污染的衣著，用流動(dòng)清水沖洗。若有灼傷，就醫(yī)治療。
眼睛接觸：立即翻開上下眼瞼，用流動(dòng)清水沖洗15分鐘。就醫(yī)。
吸入：迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢，呼吸困難時(shí)給輸氧。呼吸停止時(shí)，立即進(jìn)行人工呼吸。
七、泄露處理應(yīng)急處理
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員***風(fēng)處，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格***出入。切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式
呼吸器，穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴(kuò)散。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。
